KITZ集團一直秉承“以更好的品質"、“更低的成本"在客戶“需要的時候"按客戶“需要的數量"提供客戶所需的產品這一制造理念。而這一制造產品理念的保障就是創新性生產方式“KICS(KITZInnovative and ChallengingSystem)"。KICS在需要的時候按各道工序逐件生產商品 消除從接單、生產到交付這一系列過程中的停滯和浪費,可降低成本并縮短交期。KITZSCT在制造產品體系中引入了“KICS"理念,致力為客戶準時提供產品。制造產品所需 系統.KITZSCT,在國內外(新田SC工廠、中國昆山工廠)所有的生產據點都取得了ISO9001的認證。在日本國內(新田SC工廠)還取得了依據高壓氣體保安法的大臣認定試驗。本公司確立了在開展業務活動中以ISO9001為標,所有的部門都在 產體制下運用和維 統。
■主要特點
◎最大限度縮小閥體縱向開孔尺寸,使內容積縮小到1.36cm(3 1/4"CVC 外螺紋 OPEN 時),實現了優異的氣體置換性。
◎采 觸氣體部位密封結構,最大限度提高了密封性能、耐久性、脫氣性能、耐腐蝕性能。
◎嚴格挑選隔膜材料提高耐腐蝕性能并采用 型方法,最大限度杜絕加工所造成的個體差異,實現了高耐久性能。
◎采用最高等級的制造環境和內面研磨處理,可用于半導體用高純度氣體,最大限度提高了防顆粒性能。
“VLCD"系列隔膜閥在繼承以往的 KD 系列的基本性能的同時,實現了部件
的通用化。■主要特點
◎外觀尺寸比以往產品 KD 系列縮小了 20%。
◎對各部件、材料進行改進,降低了成本價格。
◎清洗工序、檢查工序與以往產品相同,可用于半導體、FPD、LED 用制造裝置等。
尺寸 VLCD4(1/4")
Cv 值 0.1
使用壓力 0.98MPa(G)
接觸氣體部位內容積 0.85cm3
使用流體溫度范圍 -10℃~ 80℃
檢查泄漏量 內部泄漏 1×10-10Pa?m3/sec 以下
外部泄漏 1×10-10Pa?m3/sec 以下
環境溫度范圍 -10℃~ 60℃
操作壓力(氣動閥) 0.4 ~ 0.6MPa(G)
動作耐久性 ※ 400 萬次
※ 本公司實測值〔測試條件〕密封圈 :PCTFE,流體 :N2,封入壓力 :0.98MPa
等級 STD EP
閥體材質 SUS316L
內表面粗糙度 Rz3.2μm以下 Rz0.7μm以下
研磨 機械研磨加工 電解研磨加工
清洗
脫脂清洗
+
精密清洗
包裝 單層 雙層
閥體 SUS316L
密封圈 PCTFE
隔膜片 鈷合金
VLD4QLS-VC-EP-316L
VLD4QLS-VFC-STD-316L
VLD4QLS-WC-EP-316L
VLD4QLS-VA(P)-STD-316L
VLD8QLS-VC-EP-316L
VLD8QLS-VFC-STD-316L
VLD8QLS-WC-EP-316L
VLD8QLS-VA(P)-STD-316L
VLD4MS-VC-EP-316L
VLD8MS-VC-EP-316L
VLD4MS-VFC-EP-316L
VLD8MS-VFC-EP-316L
VLD4MS-SC-STD-316L
VLD6MS-SC-STD-316L
VLD8MS-SC-STD-316L